冠石半导体入场首台先进电子束掩模版光刻机

近日，宁波冠石半导体有限公司迎来关键节点，企业引入首台电子束掩模版光刻机。据悉，该设备是光掩模版40纳米技术节点量产及28纳米技术节点研发的重点设备。

宁波冠石半导体公司是一家专业从事半导体光掩模版制造的企业，企业主要从事45-28nm半导体光掩模版的规模化生产。光掩模版是微电子制造中光刻工艺所使用的图形转移工具或母版，其功能类似于相机的“底片”。作为半导体产业链上游重要的原材料之一，光掩模版是承载图形设计和工艺技术等知识产权信息的载体。目前，我国高精度半导体光掩模版产品主要仍依赖于进口，国产化率极低。

从2023年5月16日落笔签约，同年10月1日落地开工，2024年1月27日落成结顶，到如今设备陆续进场，搭乘营商环境优化提升“一号改革工程”的“东风”，宁波冠石半导体公司建设按下“快进键”，再次刷新前湾新区数字经济产业的新速度。

门槛高、壁垒厚、而需求旺，光掩模版产业发展空间价值凸显，在广阔的国内外市场大有可为。当前，冠石一期洁净车间设计产能为月产5000片180纳米至28纳米集成电路掩模版。据冠石相关负责人介绍，企业正加速推进海外布局战略，并在世界一流半导体光掩模版制造技术班底的加持下，预计今年底，企业将陆续实现为国内外中高端集成电路掩模版提供制版服务。

光掩模版制造是数字经济产业的关键技术，是急需补上的“卡脖子”产业，也是弯道超车、换道超车的重要赛道。宁波冠石半导体是新区补齐半导体产业链的重要一环。企业建成投产后将成为国内技术能力先进的独立光掩模版生产企业，可填补国内高阶制程光罩空白，打破国外高端光掩模版的垄断局面，提高我国半导体光掩模产业的安全和可控性。

产业高质量发展，要做到“新”中有“数”。为此，前湾新区大力招引冠石在内的数字经济重点项目，攻克芯片、半导体等一批关键核心技术，构建以企业为主体的技术创新体系。

近年来，前湾新区聚焦数字经济产业，引进相关项目超60个，总投资超300亿元，聚集了一大批数字经济龙头企业，初步培育形成集成电路、智能终端、汽车电子、软件设计、关键传感器等数字经济产业链。

为进一步优化数字产业发展生态环境，前湾新区还组建20亿元的数字经济产业发展基金，专门投向电子信息制造、工业互联网、5G+、人工智能等产业方向，助力数字经济产业加快发展。