芯源微(688037.SH)：公司首台化学清洗机顺利发机

格隆汇10月15日丨芯源微(688037.SH)在互动平台表示，2024年8月30日，公司首台化学清洗机顺利发机，机台所用高温SPM清洗工艺被业界公认为28nm/14nm制程性能要求最高的工艺之一，公司在官网及微信公众号等平台同步推送了该新闻。公司将借助前道物理清洗设备的成功经验，力争在前道化学清洗赛道实现跨越式发展，未来与前道涂胶显影设备一道形成两大主打优势产品，为公司长期发展提供稳定的业绩增长点。