万业企业(600641.SH)：今年凯世通自主研发生产的CIS低能大束流离子注入机正式入驻客户生产线

格隆汇12月23日丨万业企业(600641.SH)在互动平台表示，万业企业旗下凯世通紧跟技术发展趋势和客户需求，不断强化离子注入机领域的技术领先优势。针对 28nm 及更先进工艺对离子注入高精度、极少颗粒污染、高良率大产能的需求，采用多电极束流引出技术、超低能束流传输技术、离子束能量过滤技术、各向同性扫描、离子注入平台等技术，研制了注入角度控制更加精准的真空各向同性机械扫描系统、超细微颗粒污染控制、覆盖工艺广的离子注入机系列产品，推进全系列离子注入机的产业化。通过多项技术的突破，凯世通不断增强产品核心竞争力建立行业壁垒，涵盖先进逻辑、存储、功率器件、CIS 图像传感器四大应用领域。今年凯世通自主研发生产的 CIS（CMOS 图像传感器）低能大束流离子注入机正式入驻客户生产线，凯世通也成为中国首个获得此类订单的本土供应商，并且已经赢得了该客户的批量订单。自去年以来，凯世通加大了对细分领域专用离子注入机的开发力度，形成了涵盖 SOI 氢离子注入机、6/8 英寸 SiC 高温离子注入机、中束流离子注入机及超高能离子注入机等在内的全系列产品矩阵布局，致力提升重大装备自主可控能力，同时也为未来实现更加多元化的客户结构奠定了坚实基础。此外，公司新控股股东先导科技集团将以其自身产业资源，持续赋能万业企业集成电路业务并优化上市公司产业结构。依托先导科技集团的资源协同，公司能从基础材料到零部件自主研发供应能力对凯世通赋能，保障供应链的自主、稳定和安全。