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机构：东方财富证券
研究员：李双亮/王佩麟
国内检测量测设备龙头，持续快速放量。中科飞测于2014 年末设立，中科院微电子所参与设立，公司董事长陈鲁及核心技术人员、部分员工均曾在微电子所任职，科研实力雄厚。公司实控人为陈鲁夫妇，控制权清晰稳定。公司产品品类众多，覆盖品类空间广，客户广泛覆盖国内主流前道制程及先进封装客户，近年来随着下游快速发展以及国产化加速，公司产品快速放量，收入持续高增长。
国内晶圆厂有序扩产，先进制程空间巨大，低国产化率环节弹性更大。
2023 年，下游晶圆厂大量进口海外设备，并与国产设备厂商配合推进制程工艺卡脖子环节突破，2023 年末以来部分产线已有序启动扩产。
展望2025 年，依托充足海外设备囤货，以及产线工艺和设备优化，先进产线扩产态势良好，叠加国产化率提升，设备订单持续快速增长。
中长期来看，先进制程缺口依然巨大，在外部环境不确定的风险下，扩产力度和持续性值得期待。尤其是国产化率较低的环节，如检测量测设备，国产化突破和份额提升较为急迫、订单弹性更大。
检测量测乃良率提升关键环节，国产化正当时。半导体制造过程中，检测量测是保证芯片生产良率的关键，其设备市场空间巨大，2023 年近130 亿美元、为第四大类半导体设备。且随着制程微缩和结构复杂，对检测量测的要求和需求也会更高，近年其设备市场复合增速也居于各类产品中部。检测量测细分品类极多，但整体均由KLA 等海外厂商垄断，国产化率极低，尤其是难度高、市场大的明场检测设备等细分品类。而随着下游客户恢复/启动扩产，检测量测设备环节国产化迫在眉睫。且从订单节奏上而言，前期制程工艺设备订单兑现，而下游客户产线调通后良率提升和成本控制重要性凸显，2025 年检测量测设备订单落地将进入兑现阶段。
中科飞测：国内品类覆盖最广的龙头，深度受益国产替代。中科飞测已量产设备品类的市场覆盖比例达30%，加上验证品类可达67%，居于国内厂商前列。公司无图形检测优势明显，套刻精度量测设备逐渐建立优势，图形检测、膜厚量测等设备份额稳步提升，明场、暗场检测和OCD 量测设备也在有序推进中，随着下游加速国产化，公司产品份额提升以及新品突破，公司订单和收入弹性巨大。
【投资建议】
随着下游晶圆厂快速扩产以及国产化率提升，检测量测设备厂商面临良好发展机遇。公司作为国内检测量测设备领先厂商，细分产品优势明显，新品有序验证放量，有望深度受益。我们预计公司2024-2026 年收入分别为12.82 亿元、19.74 亿元、29.60 亿元，归母净利润分别为0.35 亿元、2.70亿元、4.78 亿元，对应2024/11/25 收盘价PS 分别为24.3 倍、15.8 倍、10.5 倍，PE 分别为875 倍、115 倍、65 倍。考虑到中科飞测尚处于快速发展阶段，研发投入大，未达到稳定、合理的利润率水平，而公司所处细分赛道国产化率更低、份额提升和业绩增长弹性更大，我们给予公司“增持”评级。
【风险提示】
外部贸易环境不确定性风险：若美国对国内半导体产业的制裁收紧程度加深，严重影响国内下游晶圆厂扩产，则设备需求可能较为低迷。
下游扩产力度不及预期：设备厂商的订单需求主要取决于下游扩产情况，如果下游扩产力度不及预期，则公司订单增长可能受到影响。
新品验证不及预期：检测量测设备部分品类尚未实现国产化突破，公司及竞争对手积极推进验证中，若公司新品验证及放量不及预期，则公司的业绩增长以及长期天花板都会受到影响。