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茂莱光学(688502.SH):为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜

09-25 17:10 13,218

格隆汇9月25日丨茂莱光学(688502.SH)在投资者互动平台表示,公司为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜,以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件,是光刻机实现光线均匀性与曝光成像的核心模块。公司基于核心技术生产的大口径光刻机曝光物镜用光学器件突破常规透镜尺寸和精度的指标要求,面形精度可达到小于30nm。