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龙图光罩(688721.SH):珠海募投项目前处于工艺验证和客户送样阶段

10-28 15:56 9,022

格隆汇10月28日丨龙图光罩(688721.SH)接受特定对象调研时表示,珠海募投项目前处于工艺验证和客户送样阶段,目前电子束光刻、干法刻蚀、检测等主要生产设备均已到厂完成安装调试,第四季度进行小批量试产。

公司已开展了第三代半导体掩模版的技术的研究与储备,包括PSM掩模版数据处理技术研究、二次光刻的精准对位研究、二次涂胶与烘烤工艺研究、PSM相移掩模版的灰度检测方法研究等,涉及第三代掩模版的CAM、光刻、检测全环节,已取得了一定的技术成果,形成多项知识产权与专有技术。

司关键生产设备的折旧时间为10年,募投项目存在一定的折旧压力,如相应产品能够顺利验证逐渐上量,预计良率和产能爬坡能够按计划达成。