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英诺激光(301021.SZ):在超精密加工领域,高功率薄片超快激光器可实现高效加工,有效减少飞屑毛刺、提升生产效率

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格隆汇7月29日丨英诺激光(301021.SZ)在投资者互动平台表示,在超精密加工领域,高功率薄片超快激光器可实现高效加工,有效减少飞屑毛刺、提升生产效率;在半导体领域,大能量、高重频超快激光是支撑EUV光源预脉冲的核心技术;在前沿科学领域,薄片激光技术是实现高平均功率阿秒驱动脉冲的有效手段,为阿秒技术走向商用提供了有效路径;在新型显示等其他高端加工场景,高功率、大脉冲能量的紫外、深紫外薄片激光器将以更好的稳定性和更优的成本替代目前尚需进口的准分子激光器,可见薄片激光器在诸多的高端和尖端领域有着广阔的应用前景,将支撑这些领域的发展。