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机器人(300024.SZ):半导体业务产品包括大气机械手等系列产品以及EFEM、真空传输平台

06-04 08:25 18,926

格隆汇6月4日丨机器人(300024.SZ)近日在接待机构投资者调研时表示,公司半导体业务产品包括大气机械手、真空机械手等系列产品以及EFEM、真空传输平台,产品主要应用在刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺环节,涉及硅片生产、晶圆加工、封装等半导体制造全产业链,下游客户包括如北方华创、中微半导体、屹唐股份、拓荆科技等半导体工艺设备厂商。

目前公司大气类产品(包括EFEM、大气机械手)、两轴真空直驱机械手、真空传输平台系列产品已实现批量化订单,半导体装备业务应用规模化效应初步显现。随着研发的不断推进以及成果的转化,为此业务板块的快速成长提供了保障。

公司一直以产业安全、实现自主可控为目标,随着半导体行业国产化进程的加快,半导体行业外部环境导致国产替代机会的持续,公司也将为业务释放提前布局产能。