我国首次建立基于硅晶格常数溯源的集成电路纳米线宽标准物质

格隆汇9月13日｜据央视，中国计量科学研究院的纳米线宽标准物质研制团队，以国际计量局规定的国际单位制米定义复现方法——硅晶格{220}方向尺寸（0.192nm）为基础，采用内禀硅晶格原子标尺的线宽标准物质设计方案，实现对线宽标准物质的原子级准确度（<1nm）计量溯源，突破了现有波长计量基准（633nm）溯源方式对线宽测量的5nm不确定度水平极限，成功研制了与集成电路关键制程节点相对应的7nm、22nm、45nm的线宽标准物质，不确定度水平处在0.32～1.3nm，初步构建了基于硅晶格常数溯源的集成电路高准确度纳米线宽计量溯源体系，为保障集成电路与原子级制造几何量值的准确性奠定了坚实计量基础。