消息称三星电子测试TEL公司Acrevia GCB设备以改进EUV光刻工艺

格隆汇9月3日｜据TheElec，三星正对Tokyo Electron (TEL) 的Acrevia GCB气体团簇光束系统进行测试。TEL的Acrevia GCB系统发布于今年7月，可通过气体团簇光束对EUV光刻图案进行局部精确整形，从而修复图案缺陷、降低图案粗糙度。