电子束枪有望简化EUV光刻机

格隆汇8月7日丨荷兰国家应用科学研究院Stodolna等提出了一种能够产生氢等离子体的实验装置，以便进一步研究改进EUV光刻。之前的等离子体发生器非常复杂，需要大量资源，但该团队的装置非常简单，使用机的是市场上可买到的技术。他们的装置主要依靠高压、大电流电子束枪，该电子束枪可以产生短电子脉冲，通过电子撞击电离产生等离子体。在测试中，它能够再现EUV生成等离子体的关键参数。